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测量参数 |
Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、RPc、RSm、Rmr(c)、tp、Rmr、Rpm、 Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、R△q、R△a、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr(c)、Pmr、Pz1max、PzJIS、 Pδc、P△q |
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| 传感器 | 检测原理 | 电感式 |
| 测量范围 | 400μm | |
| 针尖半径 | 5μm | |
| 针尖材料 | 金刚石 | |
| 触针测力 | 4mN | |
| 触针角度 | 90° | |
| 导头纵向半径 | 45mm | |
| 驱动行程上限 | 19mm | |
| 量程和分辨力 | 量程 | 分辨力 |
| ±25μm | 0.001μm | |
| ±200μm | 0.008μm | |
| 波方式 | 2RC、GAUSS | |
| 取样长度 | 0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm | |
| 评定长度 | 1L ~ 5L(可选,L为取样长度) | |
| 示值误差 | ±10% | |
| 示值重复性 | ≤6% | |
| 工作环境 |
温度:0℃ ~ 40℃ 湿度:<90% RH |
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| 外形尺寸及重量 |
主机:155.4mm×75mm×53mm,约580g 驱动器:Ф26mm×132.5mm,约179g |
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| 电源 |
内置电池:锂离子充电电池 电源适配器:输入:100V ~ 240VAC,50/60Hz 输出:9V,3A |
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| 标准配置 |
主机、传感器、驱动器、充电器、样块、前后护套、探杆(4根) |
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